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MKY-KDY-4 四探針電阻率測試儀

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MKY-KDY-4 四探針電阻率測試儀

MKY-KDY-4型四探針電阻率測試儀是嚴格按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國家標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。整套儀器有如下特點:

1、配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表適時監測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。

數字電壓表量程:0—199.9mV  靈敏度:100μV  輸入阻抗:1000ΜΩ

基本誤差±(0.4-0.5%讀數+0.1%滿度)

2、可測電阻率范圍:10—3 —1×103Ω·cm。

可測方塊電阻范圍:102 —1×104Ω/□。

3、設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。

4、流經硅片的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。

電流量程分四檔:100μA、1mA、10mA、100mA。

5、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數,提高了測試儀的可靠性和使用壽命。

MKY-KDY-4 四探針電阻率測試儀

MKY-KDY-4型四探針電阻率測試儀是嚴格按照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國家標準設計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。整套儀器有如下特點:

1、配有雙數字表:一塊數字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數字表適時監測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。

數字電壓表量程:0—199.9mV  靈敏度:100μV  輸入阻抗:1000ΜΩ

基本誤差±(0.4-0.5%讀數+0.1%滿度)

2、可測電阻率范圍:10—3 —1×103Ω·cm。

可測方塊電阻范圍:10—1×104Ω/□。

3、設有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。

4、流經硅片的測量電流由高度穩定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機測量精度<3%。

電流量程分四檔:100μA、1mA、10mA、100mA。

5、儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數,提高了測試儀的可靠性和使用壽命。

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